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mf3000系列气体质量流量计 mf3000系列气体质量流量计直接测量气体质量流量。该流量计工作压力提高到0.8mpa，测量范围涵盖（0~2）slpm到（0~1500）slpm。本产品可用于工业应用中的焊接机器、激光设备、气体混合控制等。
mf5200系列氧气质量流量计 mf5200系列氧气质量流量计是专门为医院中心供氧系统中楼层与科室氧气计量而设计的一款流量计。该流量计具有可分离的显示器，具有rs485网络通讯接口以及用户自定报警功能能更好的实现网络传输和流量监控。mf5212和mf5219可分别测量0~400l/min（标况）和0~1000l/min（标况）气体流量。用户可根据需求选择带压力显示型和不带压力显示型。
mf6600系列气体质量流量计 mf6600系列气体质量流量计应目前市场需求而开发，采用本公司自主研发的微机电系统（mems）流量传感芯片来制作，适用于各类清洁、干燥气体。长久以来，转子流量计大量应用于低成本的气体过程控制，但其采用光电数字转换的方式已不能满足对于精度、成本和数字化技术的发展要求。mf6600在机械安装尺寸上兼容转子流量计，实现高精度质量流量测控和多种数字远传及电池供电选项。
mfc2000系列气体质量流量控制器 mfc2000系列质量流量控制器采用公司专有的mems thermal-d操作tm热量传感技术与智能控制电子设备，这种独特的质量流量传感技术消除了一些扩散率相似的气体的气体敏感性，并允许在编程后进行气体识别。本产品可用于动态范围为100:1的过程控制，其控制范围为0.1至0.8mpa（15至120 psi）的压力和0至50℃的补偿温度。该产品的设计便于更换机械连接器，标准连接器可选双卡套、vcr或unf，其他定制连接器可根据要求提供。
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    矽翔微机电系统有限公司（矽翔公司，siargo ltd. ）成立于2003年，公司总部位于美国加州硅谷。矽翔公司是目前世界唯一生产具有自主知识产权、低功耗、超大量程mems气体流量计并使之产品化的厂商。其核心部件一mems流量芯片及其专利封...
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